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超高分辨肖特基場發射掃描電鏡

簡要描述:超高分辨肖特基場發射掃描電鏡SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質圖像,而且還可以同時接收多種信號。此外,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。
SU7000是一臺實現了信息獲取量的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。

  • 產品型號:SU7000
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2022-03-07
  • 訪  問  量:65
產品詳情

超高分辨肖特基場發射掃描電鏡核心理念

  1. 采用優異的成像技術
    SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。全新設計的電子光學系統和檢測系統,使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時間內獲得更全面的樣品信息。

  2. 采用多通道成像技術
    隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器,還引進了相應的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現了獲得樣品信息的。

  3. 支持不同形狀樣品、多種觀察方法
    ?大型樣品觀察
    ?低真空觀察
    ?超低溫觀察
    ?實時觀察
    等所需的樣品倉和真空系統都十分完備,觀察方法也是。

  4. 支持微納解析
    采用肖特基發射電子槍,最大束流可達到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等,接口設備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

超高分辨肖特基場發射掃描電鏡成像能力

追求信息的檢測系統

隨著用戶對樣品數據的需求更加多元化,對檢測系統在短時間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下,更高效地獲取形貌、成分、晶體學以及發光等信息。真正實現了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

樣品:包裹有機物的金屬棒

樣品提供:Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda

通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應用實例 (加速電壓:1 kV)
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號,UD可獲取表面微細形狀信息,MD可獲取表面有機物包覆狀態信息,LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下,實現了獲取信息的。

采用可多通道顯示的GUI設計

優化信號顯示功能

  • 成像單元在信號顯示上也作了全新升級。

  • 用戶可根據觀察需求,選擇不同的視場角和通道數。

  • 單屏最多可同時顯示4通道信號。

  • 導航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像,快速顯示目標圖像。

  • 使用雙屏顯示時,可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像,另一個顯示屏專門用來顯示信號,最多可同時顯示6通道信號。

高自由度的界面布局

使用單屏時,可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息,也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像,2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示,界面布局清晰明了。在實現實時監控圖像的同時,操作性能也得到了進一步提升。

可擴展觀察和分析方法

樣品倉和馬達臺


樣品倉外觀
標配18個附件接口


馬達臺外觀
XY軸可移動距離為135×100 mm

樣品倉可搭載最大直徑為φ 200 mm;最高80 mm的樣品。大開倉設計,標配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸最大移動距離為135×100 mm,最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺完全不成問題。

相機導航功能(*)

通過相機拍攝樣品

      將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進行導航

SU7000可選配導航相機(*),迅速鎖定要觀察的位置。相機安裝在樣品倉內,插入樣品后,可半自動拍攝樣品的整體圖像。該圖像會被顯示到導航畫面(SEM MAP)窗口,因此,用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。最大適用尺寸為φ 100 mm。

  • (*)

  • 可選配相機。

支持動態觀察的檢測系統

SU7000可用于環境改變的動態觀察。低真空觀察時,可以選用PD-BSED(背散射電子探測器)、UVD、MD等各種探測器(**)。

低真空環境的探測器選擇
左圖為通過MD(背散射電子),右圖為通過UVD(二次電子)探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現出氧化物的分散狀態和纖維的堆積情況。

PD-BSED:響應速度提高
左圖是以一般的響應速度,約每兩秒掃描一次得到的圖像;右圖抑制了圖像的漂移,使得整體的畫質得到了大幅提升。隨著響應速度的提高,更適用于In-Situ觀察。


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